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汽車真空箱氦檢漏系統(tǒng)質(zhì)量放心可靠【科儀創(chuàng)新真空】
2021-06-18






氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理

今天科儀創(chuàng)新的小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理,希望對(duì)您有所幫助!

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn),利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司專業(yè)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀,如您想了解更多您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢。儀器對(duì)其示漏氣體氦氣有響應(yīng)信號(hào),而對(duì)其他氣體沒有響應(yīng),從而檢漏。








氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式有那些

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴(kuò)散檢漏。

逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用拓展一航空航天高科技工業(yè)1)例如火箭發(fā)動(dòng)機(jī)及姿態(tài)發(fā)動(dòng)機(jī),過去是打壓刷肥皂水檢漏,現(xiàn)在重新改進(jìn)工藝用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏,采用正壓吸槍與氦罩法結(jié)合,使檢漏靈敏度大大提高,從而保證了發(fā)動(dòng)機(jī)質(zhì)量。

氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴(kuò)散原理

逆擴(kuò)散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強(qiáng)較高,氦質(zhì)譜檢漏儀可達(dá)1000Pa(一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下),適合檢大型容器或有大漏的器件,也適合吸槍檢漏。逆擴(kuò)散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染,燈絲壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理

  氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí),不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時(shí),打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來,此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀主要特點(diǎn):前級(jí)泵配備抽速高達(dá)15m3/h旋片泵,對(duì)氦氣抽速可達(dá)2。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20 Pa 時(shí),入口閥2 關(guān)閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短,此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。

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